美国API 激光干涉仪使用介绍 (一) 硬件的安装连接及调光 A. 安装步骤 ? 首先将激光干涉仪放置于所需测量机器的工作平台，让激光照射 的方向大致与所测轴运动方向平行。 ? 打开激光干涉仪下面的磁力座开关（如平台非铁件，需安装一铁 板以便磁力座更好的吸附）。 ? 将机器所测量轴移动至近处软限位位置。 ? 将 1D/3D 反射镜镜面朝向干涉仪方向并安装在机器运动状态下稳 定不会晃动的零部件上。（反射镜与干涉仪均可作为运动测量） ? 激光干涉仪与反射镜安装完毕后，检测测量轴在做全程运动时能 有效的接收激光照射且不会碰到反射镜及机器的任意部件。 B. 硬件连接注意事项 ? 在做硬件连接前请将电源开关置于关闭状态 ? 气象站接口（weather ）在连接前请务必注意方向性，拔出时请捏 住根部弹簧接口拔出，对野蛮插拔导致接口损坏，API 不予保修 ? 电源线接口（DC IN 12V ）有螺旋扣，在连接时需注意。 ? 在安装好激光干涉仪后将水平与垂直方向的旋钮调整至中间位置， 以确保在光路调整过程中两个方向均有可调节的余量。 ? 气象站材料温度传感器和空气温度传感器以及大气压力传感器请 放置于机器的工作台面上。 C. 光路调节步骤 1. 将反射镜前面的旋转盖进行旋转，让旋转盖上的白点置于下方 2. 移动机器测量轴将干涉仪（或反射镜）移动至两者近端 3. 借助机器的控制手柄或手轮移动其他两个轴，让激光干涉仪的 光线照射在反射镜的白点位置，如无控制手柄可借助的情况下 请调节反射镜处的磁力座或十字插接件上的连接杆进行移动 调节 4. 移动机器测量轴将干涉仪（或反射镜）移动至两者远端 5. 如果激光照射在 白点水平位置距离偏差过大致使调节旋钮超 越可调范围，请松开激光干涉仪下方的磁力座开关，移动干涉 仪适量角度确保激光照射在白点垂直线上 6. 此时调节激光干涉仪主机右侧及下方的调节旋钮，使激光光线 照射在反射镜白点的中心位置 7. 重复 2、3、4、6 步骤，来回往返数次，让激光全程照射在反 射镜白点中心，此刻初次调光完成，将反射镜前端的旋转盖进 行 90 度或-90 度旋转致使白点置于左右两侧 8. 打开软件主界面，线性光强窗口条幅深绿色，数值 100% （机 器测量轴全程运动时），1D 的配置的激光干涉仪即可有效的测 量线性精度 .....