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ZYGO新一代激光干涉仪

更新时间：2020-09-11
浏览次数：6310

ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire™激光干涉仪
继承了工业标准GPI™激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、创造性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO技术的集中体现。所有VeriFire™系列产品都能提供标准的干涉测量，每种型号均具有特殊的应用。

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品牌	其他品牌	价格区间	面议
产地类别	进口	应用领域	电子,交通,冶金,航天,汽车

ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire™激光干涉仪，继承了工业标准GPI™激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、创造性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO技术的集中体现。所有VeriFire™系列产品都能提供标准的干涉测量，每种型号均具有特殊的应用。Verif ire"系统真正的斐索型激光光路设计延续了zYG0在面形计量行业*与伦比的经验。共光路的设计结合ZYG0**的采集算法，和功能强大的批软件实现了高精度的表面计量与良好的分析能力。

关键性能：

? 斐索型共光路系统保证精密测量
? 友好的图形用户界面，易于生产线上操作
? 创新箅法使其在振动环境中也能实现准确计量
? 利用良好的过程控制技术，快速提取测试中不变的信息
? 每一帧数据都将振动信息冻结

所有 Verifire™ 系列产品都能提供标准的干涉测量,每种型号均具有特殊的应用,列于下表:

型號:	XPZ	QPZ	ATZ	MST	Asphere
核心技術:	相位移式干涉儀 (PSI)			傅立葉轉換相位移式干涉儀	**非球面演算法相位移式干涉仪
光源:	點光源		點光源和 Ring of Fire™環形光源(波紋抑制)
變焦:	自動 1-6X		數位控制 1-5X
聚焦:	自動		數控步進焦距控制
解析度:	640 × 480 圖元	1k × 1k 圖元
幀速:	75 Hz	100 Hz	43 Hz

集成大量常用测量程序模块

?    多个样品的同时分析
?   球面曲率半径的测量
?   角锥和棱镜测量
?   双球面和三平板的测量
?   相对角度和楔板楔角的测量
?   材料均匀性的测量
?   傅立叶变换移相干涉测量(MST型)
?   动态设备如MEMS的测量
?   薄膜上下层形貌和厚度的测量
?   金属零件的测量

简单的定制过程，用户可调

?   设定数控采集和数据处理过程中的各种参数
?   选择需要显示的图像曲线和数据结果
?   几百种符合工业标准的数据可供选择
?   自定义屏幕上各种窗口的编排
?   保存和输出每个样品参数测量.分析设定数据结果
?   适用于工业化生产的软件
?   质量控制--自动显示”合格/不合格”
?   编程功能--仪器自动按用户所编程序模式运行.产生相应的信息
?   根据用户定义的计算公式，产生相应的结果
?   实时屏现SPC
?   自动数据保存和统计
?   应用程序”锁定“功能

强大的数据分析功能

?   数据滤波和剪辑
?   像差计算
?   PSF和MTF图
?   斜率图/功率谱密度/环绕能
?   ASCII和"XYZ"数据格式
?   Zernike分析
?   数据和图像加减、缩放、旋转和转换
?   ZEMAX、CodeV和0SL0数据格式

系统

测量功能	精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前
测量技术	QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模式（PSI）
校准系统	快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)
测量光束直径	4″（102mm）或6″（152mm）
对准视场范围FOV	4″：±3°；6″：±2°；
光学中心线	4.25″（108mm）
激光光源	大功率稳频氦-氖激光，III*
波长	633 nm
频率稳定度	< 0.0001 nm
相干长度	＞100m
成像分辨率	1024 x 1024像素
帧速	100Hz（PSI）
数据采集时间	130-300ms
数据模式	8位
放大	电控1-5X
偏振	接近圆偏振（1.2：1或者更好）
光曈调焦范围	4″：±2.5m；6″：±5.5m；
计算机和软件	高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO**软件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2）
安装构造	水平卧式或垂直立式
附件	详细参考ZYGO激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463
尺寸(长x宽x高)	4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）
重量	4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg）
电源	100-240VAC，50/60Hz

工作环境：

温度	15°C - 30°C (59°F - 86°F)
温度变化率	＜1.0°C/15min
湿度	相对湿度5% - 95% , 无凝结
隔振	QPSI模式可以在振幅不超过150nm的震动环境下进行测量；机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。